1970年代，世界各地恐怖活动盛起，各国开始建立自己的反恐部队。美国政府也不甘落后，决定组建一个全职的反恐单位以应付潜在的恐袭威胁。
早于1960年代初，美国政府官员和军队高层就已经准备好要建立一支特别小组。越战老兵兼美国陆军特别小组军官，查尔斯·贝克维兹，曾在英国陆军第22特种空勤团中作为一名交换生服役，并随同英军一同参与了马来亚危机的军事行动。回国后，贝克维兹向美国军方上交一份详尽的报告，指陆军还没有一支能够媲美特种空勤团的军事部队。尽管当时的美国陆军特别小组已专注于非传统作战，贝克维兹仍然希望成立一支隐蔽的小规模精英部队，其队员必须精通各种特殊技能，可用于执行直接行动和反恐任务。最初，政府和军方高层并不买账，拒绝成立一支跟现有概念不同的部队。
后来在1970年代中期，意识到世界各地恐袭四起，五角大楼和陆军高层委任贝克维兹去组建这支他一直希望成立的新部队。
三角洲特种部队最终在1977年11月由贝克维兹和托马斯·亨利上校正式成立。
该部队最初的队员是挑选自志愿者，后在1978年初才新增了特别筛选考试。筛选过程中考生必须通过一系列携带重装备进行山地行军，目的是要测试他们的耐力、体力、意志力和精神力。首个训练课程于1978年4月—9月间进行。三角洲特种部队在伊朗人质危机前夕的1979年秋季正式获得军方认可，成为一支可执行任务的部队。
1979年11月4日，53名美国外交官和公民遭伊朗扣押在美国驻德黑兰大使馆当作人质，美国政府原先决定在1980年4月派出三角洲特种部队以武力前往营救，行动代号“鹰爪”，预定在24—25日进行，最终因直升机发生机件故障而中止行动。这次行动的失败直接促成第160特种作战航空团的成立，其后美军也创立了可从事海上反恐作战的海豹六队（现称：海军特殊战开发大队），同时还建立了联合特种作战司令部以指挥和管辖美军各支反恐部队。
由于三角洲特种部队参与的大部分行动都是保密的，公众或无法轻易得知其任务内容及行动细节。不过，其部分较高调的行动已为大众所知悉。包括在入侵巴拿马期间的正义之师行动，三角洲特种部队抓获了巴拿马独裁者，曼努埃尔·诺列加。其他著名的三角洲特种部队行动有索马里内战期间的哥特蛇行动，以及在持久自由行动及伊拉克自由行动期间的多次反恐作战。
1999年，费城新闻报记者马克·鲍登出版了纪实文学《黑鹰突击队：一个现代战争的故事》，该书记录了发生于1993年10月3日摩加迪沙之战的战况。书中简短地提及了三角洲特种部队在该次战役中的一些行动，该情节后来被拍摄成为电影──《黑鹰计划》。
2019年10月26日，三角洲特种部队成功突袭伊斯兰国领袖，阿布·贝克尔·巴格达迪于叙利亚巴里沙的藏身之处，行动中巴格达迪引爆自杀式炸弹身亡。